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銷售BURKERT在線式傳(chuan) 感器,寶德在線式傳(chuan) 感器 在這塊膜上有一個(ge) 加熱電阻和兩(liang) 個(ge) 對稱的溫度傳(chuan) 感器(分別位於(yu) 上遊和下遊)。 如使加熱電阻保持在一個(ge) 恒定溫度, 則兩(liang) 個(ge) 溫度傳(chuan) 感器的電壓差即可用於(yu) 測量旁路通道內(nei) 流過芯片的氣體(ti) 的質量流量。 該溫度傳(chuan) 感器的熱量低、與(yu) 介質直接接觸,因此具有許多特定的**, 其中之一就是對於(yu) 流量變化的響應極快。 帶 CMOS 傳(chuan) 感器的 MFC 具有100 ms 的響應時間, 且靈敏度*,即使流量很小時也是如此。 該在線式傳(chuan) 感器為(wei) CTA(恒溫風速計) 工作原理: 控製加熱電阻 (RS) 和測量電阻 (RT) 之間保持一個(ge) 恒定的溫差。 這兩(liang) 個(ge) 電阻都直接位於(yu) 氣體(ti) 通道內(nei) ;另外三個(ge) 電阻位於(yu) 氣體(ti) 通道之外。 這五個(ge) 電阻連接成一個(ge) 測量電橋。 氣體(ti) 通道中的一個(ge) 電阻 (RT) 測量介質溫度,
銷售BURKERT在線式傳(chuan) 感器,寶德在線式傳(chuan) 感器 MFC 中合適的流量調節確保其所測得的質量流量非常**。 由於(yu) 加熱電阻和測量電阻都直接位於(yu) 氣體(ti) 通道內(nei) , 所以當設定值或實際值變化時,該傳(chuan) 感器的響應時間極短, 隻有幾百毫秒。此外,該傳(chuan) 感器的結構確保其不易受汙染物的影響。 與(yu) 在主管道中進行測量的在線式傳(chuan) 感器不同, CMOS 傳(chuan) 感器是在旁路管道中進行測量的。 主管道中的層流元件產(chan) 生一個(ge) 必需的壓差,使小部分流量進入旁路管道。
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