產品資料

介紹SUNX晶圓定位傳感器，panasonic傳感器安裝位置

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 介紹SUNX晶圓定位傳感器，panasonic傳感器安裝位置
產品型號:
產品展商: 日本Panasonic鬆下
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

介紹SUNX晶圓定位傳感器，panasonic傳感器安裝位置 檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2) 可對應檢測麵 有受光方向反射麵的端麵形狀的檢測麵(注3) 檢測角度 12.5±5°(注4) 晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5) 適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒 介紹SUNX晶圓定位傳感器，panasonic傳感器安裝位置


介紹SUNX晶圓定位傳感器，panasonic傳感器安裝位置  的詳細介紹

介紹SUNX晶圓定位傳(chuan) 感器，panasonic傳(chuan) 感器安裝位置


電源電壓 12〜24V DC±10%　脈動P-P10%以下
消耗電流 65mA以下
因此，對於(yu) 使用單波長激光的傳(chuan) 感器，可能會(hui) 因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
0.5ms的*速反應
實現0.5ms的*速反應。兼顧*速反應性和*精度。
基於(yu) 2段受光元件的*精度位置檢測
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(hui) 影響檢測結果。
輸出動作 可用切換開關(guan) 選擇入光時ON/非入光時ON
短路保護 裝備(自動複位)
反應時間 500μs以下
工作狀態指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)
穩定指示燈 綠色LED(穩定入光時、穩定非入光時亮起點燈)
定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器　有效/無效切換式
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
基於(yu) 2段受光元件的*精度位置檢測
可從(cong) 四個(ge) 方向引出電纜
傳(chuan) 感器可以從(cong) 正前方、右側(ce) 、左側(ce) 、下方四個(ge) 方向引出電纜。
可根據傳(chuan) 感器的設置情況靈活調節。
尺寸為(wei) 寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，質量約為(wei) 75g的小巧、輕盈型
以往使用激光的激光式定位傳(chuan) 感器，激光會(hui) 從(cong) 加載口內(nei) 側(ce) 穿過FOUP直射操作人員，十分危險。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。

介紹SUNX晶圓定位傳(chuan) 感器，panasonic傳(chuan) 感器安裝位置