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SUNX晶圓定位傳(chuan) 感器額定・**概要 安全性**的LED式 以往使用激光的激光式定位傳(chuan) 感器,激光會(hui) 從(cong) 加載口內(nei) 側(ce) 穿過FOUP直射操作人員,十分危險。 M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。 安全性**的LED式 可從(cong) 四個(ge) 方向引出電纜 傳(chuan) 感器可以從(cong) 正前方、右側(ce) 、左側(ce) 、下方四個(ge) 方向引出電纜。可根據傳(chuan) 感器的設置情況靈活調節。 可從(cong) 四個(ge) 方向引出電纜
內(nei) 置放大器的小巧、輕盈型 尺寸為(wei) 寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm,質量約為(wei) 75g的小巧、輕盈型。 亦可檢測玻璃晶圓 M-DW1以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。 亦可檢測玻璃晶圓 中心測量距離 45mm 檢測物體(ti) 3英寸以上的半導體(ti) 晶圓(注2) 可對應檢測麵 有受光方向反射麵的端麵形狀的檢測麵(注3) 檢測角度 12.5±5°(注4) 晶圓間距 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5) 適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒 電源電壓 12〜24V DC±10% 脈動P-P10%以下 消耗電流 65mA以下 可檢測塗氮晶圓 氮化膜具有可吸收特定波長光的性質,吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。 因此,對於(yu) 使用單波長激光的傳(chuan) 感器,可能會(hui) 因光全被吸收而無法檢測。 而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測。 0.5ms的*速反應 。
SUNX晶圓定位傳(chuan) 感器額定・**概要
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